摻雜鎂於氧化鎳薄膜之結構與光學性質研究

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Title:	摻雜鎂於氧化鎳薄膜之結構與光學性質研究
Authors:	陳品仲
Contributors:	光電與通訊學系
Keywords:	薄膜;溶膠-凝膠法;結構;光電性質;氧化鎳
Date:	2017
Issue Date:	2017-09-14 05:25:07 (UTC+0)
Publisher:	亞洲大學
Abstract:	氧化鎳(NiO)薄膜為一寬能隙半導體材料，可以應用在產品元件上，本研究利用溶膠-凝膠法製備Ni1-xMgxO 薄膜，利用此方法之成分可準確控制之優點，將鎂(Mg)元素摻雜至NiO 中，分析其結構及光學特性，分析顯示Ni1-xMgxO 薄膜(X=1、2、5、10 及20%)這些的鎂摻雜量並未改變NiO 之晶體結構，薄膜均為單一相，所有Ni1-xMgxO 薄膜主要的吸收波長邊緣約小於350 nm，在Mg 摻雜於NiO 薄膜後，隨著Mg 的含量增加透光率會逐漸的增加，Ni1-xMgxO 薄膜(X=1、2、 5、10 及20%)的能隙分別為3.6、3.80、3.84、3.87 以及3.90 eV。
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